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怎么挑选干式真空泵

怎么挑选干式真空泵?


  干式真空泵是未来行业发展的趋势,虽然目前还没有运用,除了价格偏高之外,还有干式真空泵用户不到位,看不到经济效益带来的企业,小编这儿专心于怎么使干式真空泵得以优化挑选?


干式真空泵

  有了这些不同类型的干式真空泵,我们一直都在渴望能够减小其物理尺度。但是,这与真空泵的抽气速度相对立,因为真空泵的抽气速率与真空泵的体积成份额。小的物理尺度意味着音量也很小。当然,影响真空泵抽速的另一个重要因素是速度。为了使小型真空泵的抽吸速度与大型真空泵的抽吸速度共同,需求提高速度。而要改动真空泵的转速有两种方法,一种是改动电源的频率,即运用变频器;二是改动变速箱的份额。其间,运用变频器的好处是能够提供一个闭环操控,但简单导致重载下的转矩损失。改动齿轮箱的齿轮比是一个非常经济的方法,当然它只能提供单一的速度不能被操控。

  现在,你能够看到干式真空泵有这么多不同的设计,各有各的特色和优缺点。历史上,运用成本一直是影响人们挑选真空泵的重要因素。越来越多的真空泵用户意识到,真空泵的稳定性也应该被考虑在内。因为真空泵意外错误解形成机器运用效率降低,影响晶圆的出产和交货,乃至形成晶圆废料和其他零件的加工损坏。因为螺杆设计采用单级设计,因而与多级泵(如球缝,爪和组合)相比,所用零件的数量可削减多达60%。这对稳定性和未来的保护成本来说是一个很大的优势。

  总的来说,假如用户以为耗电量对他来说是很重要的,那么挑选一个内部加压螺钉可能是一个不错的挑选,而氮含量对他来说是不重要的。但总的来说,对尾气处理的要求越来越严厉,削减未来运用的氮气量就显得尤为重要。假如您想要处理各式各样的半导体工艺,而不用一种简单的库存操控泵来改动它们,外部压紧螺丝是很好的挑选。

  依据状况,结合以上一切设计类型的优势必须是很抱负的挑选,但还不可能。 因而,用户需求知道干泵的设计有多种不同的设计类型,然后依据自己的工艺特色来了解不同类型泵设计的影响。


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